王鹏飞  (副研究员)

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学位：博士

   
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一种离子注入设备

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所属单位：中国科学技术大学

发明设计人：王鹏飞,丁哲,杜江峰,石发展

专利说明：发明

申请号：201510455853.9

发明人数：5

是否职务专利：否

公开日期：2015-10-14

第一作者：刘钊希

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