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一种数字式波长编码光学绝对位移传感器

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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：邱克强,王宇,刘颖,付绍军
专利说明：实用新型
申请号：201320435009.6
发明人数：5
是否职务专利：否
公开日期：2013-12-25
授权日期：2013-12-25
第一作者：刘正坤

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