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超导功能器件工艺兼容性与小规模电路集成验证技术
围绕超导集成电路工程需求,研究新型超导功能器件与现有工艺体系的兼容路径,开展器件一致性、稳定性与电路级验证,推动新型超导效应向可规模扩展的集成电路单元转化
围绕超导集成电路工程需求,研究新型超导功能器件与现有工艺体系的兼容路径,开展器件一致性、稳定性与电路级验证,推动新型超导效应向可规模扩展的集成电路单元转化