利用磁控溅射制备AZO透明导电薄膜的机理研究
点击次数:
教研室:合肥微尺度物质科学国家研究中心
项目状态:完成
项目简要备注:0
项目分类:省自然科学基金
项目性质:纵向项目
项目来源:省、市、自治区科技项目
立项时间:2009-01-01
计划完成时间:2011-06-30
结项日期:2011-08-30
开始日期:2009-01-01
项目批准号:090412033
资助额度(万元):5.0
利用磁控溅射制备AZO透明导电薄膜的机理研究
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教研室:合肥微尺度物质科学国家研究中心
项目状态:完成
项目简要备注:0
项目分类:省自然科学基金
项目性质:纵向项目
项目来源:省、市、自治区科技项目
立项时间:2009-01-01
计划完成时间:2011-06-30
结项日期:2011-08-30
开始日期:2009-01-01
项目批准号:090412033
资助额度(万元):5.0