磁场产生装置、磁控管阴极及溅射装置
点击次数：
所属单位：新柯隆株式会社;中国科学技术大学
发明设计人：林子敬,李明,谢斌,王海千,姜友松,长江亦周
专利说明：发明
申请号：201180004548.8
发明人数：7
是否职务专利：否
公开日期：2012-10-10
第一作者：孔为
电子邮箱：
学位：博士
磁场产生装置、磁控管阴极及溅射装置
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所属单位：新柯隆株式会社;中国科学技术大学
发明设计人：林子敬,李明,谢斌,王海千,姜友松,长江亦周
专利说明：发明
申请号：201180004548.8
发明人数：7
是否职务专利：否
公开日期：2012-10-10
第一作者：孔为