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工程师
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- 学位:硕士
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一种X射线曝光间隙控制方法
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所属单位:中国科学技术大学
发明设计人:熊瑛,周杰,张晓波,田扬超
专利说明:发明
申请号:200910241924.X
发明人数:5
是否职务专利:否
公开日期:2010-06-09
授权日期:2011-05-04
第一作者:刘刚