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    熊瑛

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    • 学位:硕士

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    一种X射线曝光间隙控制方法

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    所属单位:中国科学技术大学

    发明设计人:熊瑛,周杰,张晓波,田扬超

    专利说明:发明

    申请号:200910241924.X

    发明人数:5

    是否职务专利:

    公开日期:2010-06-09

    授权日期:2011-05-04

    第一作者:刘刚