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    熊瑛

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    • 学位:硕士

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    一种控制微纳结构倒伏的方法

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    所属单位:中国科学技术大学

    发明设计人:熊瑛,田扬超,侯双月

    专利说明:发明

    申请号:201410546257.7

    发明人数:4

    是否职务专利:

    公开日期:2015-03-04

    授权日期:2016-06-22

    第一作者:刘刚