一种用于CVD固态源的挥发装置
发布时间：2021-07-24 点击次数：次
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明：发明
申请号：201710271043.7
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2017-06-20
第一作者：郭国平
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明：发明
申请号：201710271043.7
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2017-06-20
第一作者：郭国平