一种用于CVD固态源的挥发装置
发布时间：2021-07-24 点击次数：次
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明：实用新型
申请号：201720434437.5
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2018-01-30
授权日期：2018-01-30
第一作者：郭国平
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明：实用新型
申请号：201720434437.5
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2018-01-30
授权日期：2018-01-30
第一作者：郭国平