双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置
发布时间:2021-07-24 点击次数:次
所属单位:中国科学技术大学
发明设计人:杨晖,李海欧,曹刚,郭光灿
专利说明:实用新型
申请号:201820347329.9
发明人数:5
是否职务专利:否
公开日期:2018-10-26
授权日期:2018-10-26
第一作者:郭国平