一种制备金属及合金薄膜的金属有机化学气相淀积法
发布时间：2021-07-24 点击次数：次
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：黄磊,陈初升,杨萍华,彭定坤
专利说明：发明
申请号：96102145.4
发明人数：5
是否职务专利：否
公开日期：1997-08-13
授权日期：2001-08-22
第一作者：孟广耀
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：黄磊,陈初升,杨萍华,彭定坤
专利说明：发明
申请号：96102145.4
发明人数：5
是否职务专利：否
公开日期：1997-08-13
授权日期：2001-08-22
第一作者：孟广耀