粒子束交叉应用和集成电路关键设备研发

聚焦基于粒子束的集成电路关键设备研制，先进离子注入机的设计与研发、等离子体 / 原子刻蚀设备的研制，先进离子束溅射镀膜等粒子束交叉应用和设备研发。