半导体高端设备与薄膜材料团队

面向半导体制造关键设备与产业技术升级，聚焦高端粒子束与相关真空设备研发及半导体薄膜材料生长。团队自主开发专业模拟程序，涵盖先进原子束辅助系统、离子束刻蚀系统、磁控溅射镀膜机等方向，并自主研制离子束溅射镀膜装置，已应用于国产光刻机关键部件生产、新型半导体材料生长等领域。与国内头部半导体企业保持深入合作，适合对半导体设备、真空技术、薄膜材料与产业应用感兴趣的学生。