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  • 学位:博士
专利
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一种超声阵列检测物件平整度的测量方法与装置
  • 所属单位:中国科学技术大学
  • 发明设计人:赵刚,严震,沈凌霄
  • 专利说明:发明公开
  • 申请号:201910279915.3
  • 发明人数:4
  • 是否职务专利:
  • 公开日期:2019-06-11
  • 第一作者:穆文杰