SOI埋氧层应力对高灵敏微臂悬梁制作的影响机理研究
点击次数：
教研室：精密机械与精密仪器系
项目状态：进行
项目简要备注：冻结第一笔到款1.8万元；至尾款到账后解冻
项目分类：预付合同
项目性质：横向项目
项目来源：其他课题
项目编号：KD1306190082
立项时间：2013-06-19
计划完成时间：2015-12-31
开始日期：2013-06-19
资助额度(万元)：18.0
电子邮箱：
职务：资产与后勤保障处处长
联系方式：0551-63600214
学位：博士
SOI埋氧层应力对高灵敏微臂悬梁制作的影响机理研究
点击次数：
教研室：精密机械与精密仪器系
项目状态：进行
项目简要备注：冻结第一笔到款1.8万元；至尾款到账后解冻
项目分类：预付合同
项目性质：横向项目
项目来源：其他课题
项目编号：KD1306190082
立项时间：2013-06-19
计划完成时间：2015-12-31
开始日期：2013-06-19
资助额度(万元)：18.0