一种压电厚膜驱动的微变形镜及其制备方法
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：许晓慧,王翔,赵钢,冯艳,刘芳,刘勇,张晋弘
专利说明：发明
申请号：200610167153.0
发明人数：8
是否职务专利：否
公开日期：2007-08-22
授权日期：2009-01-21
第一作者：褚家如
电子邮箱：
职务：资产与后勤保障处处长
联系方式：0551-63600214
学位：博士
一种压电厚膜驱动的微变形镜及其制备方法
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：许晓慧,王翔,赵钢,冯艳,刘芳,刘勇,张晋弘
专利说明：发明
申请号：200610167153.0
发明人数：8
是否职务专利：否
公开日期：2007-08-22
授权日期：2009-01-21
第一作者：褚家如