郑津津
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上一条:5、李木军,沈连婠郑津津等(2007). 接近式光刻图形失真的部分相干光理论分析. 纳米技术与精密工程 5(3): 224-229。EI收录号074510909713
下一条:7、JJ Zheng, Chen, YM, HJ Zhou, YC Tian, G Liu, XG Li, and LG Shen (2007), Correction of pattern transfer errors for SU-8 UV deep lithography, Optics and Precision Engineering 15 (12), pp1926-1931, EI 收录号080411058784