周成刚
周成刚
点赞：
科研项目
采用边缘曝光的电子束曝光工艺开发
发布时间：2021-07-24点击次数：
教研室：
合肥微尺度物质科学国家研究中心
项目状态：
进行
项目分类：
预付合同
项目性质：
横向项目
项目来源：
企事业单位委托科技项目
项目编号：
KD2104010102
立项时间：
2021-03-01
计划完成时间：
2021-12-01
资助额度(万元)：
100.0