朱晓东
朱晓东
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论文成果
Influence of mixture compositions on ion energy distributions in Ar/N-2
electron cyclotron resonance plasma
发布时间：2021-07-23点击次数：
影响因子：
2.906
DOI码：
10.1016/j.vacuum.2015.05.020
发表刊物：
VACUUM
通讯作者：
朱晓东
论文编号：
000359168900027
卷号：
119
页面范围：
174-178
ISSN号：
0042-207X
是否译文：
否
发表时间：
2015-08-31
收录刊物：
SCI