孙方稳
博士生导师
教师姓名：孙方稳
教师拼音名称：Sun Fangwen
电子邮箱：
学历：博士研究生毕业
学位：博士
职称：教授
毕业院校：中国科学技术大学
所属院系：物理学院
学科：物理学 光学工程
其他联系方式
暂无内容
专利
自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统
发布时间：2021-07-23 点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：吴晓伟,尉伟,孙方稳,付绍军,韩正甫,郭光灿
专利说明：发明
申请号：201110009273.9
发明人数：7
是否职务专利：否
公开日期：2012-07-18
授权日期：2015-09-09
第一作者：崔金明
