Senior engineer
温晓镭,女,1986年生,安徽合肥人,中国科学技术大学高级工程师。主要从事半导体先进制造相关技术研究,开发基于纳米光刻和聚焦离子束的极端精度微纳加工技术。在Small Methods、Advanced Materials Interfaces、ACS Photonics 等国内外期刊发表论文20余篇,授权发明专利10余项。