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正高级工程师
电子邮箱：
学位：学士
一种光栅掩模与硅片{111}晶面的对准方法
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：刘正坤,邱克强,郑衍畅,刘颖,洪义麟
专利说明：发明
申请号：201510793828.1
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2016-03-23
授权日期：2018-08-03
第一作者：王宇
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学位：学士
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：刘正坤,邱克强,郑衍畅,刘颖,洪义麟
专利说明：发明
申请号：201510793828.1
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2016-03-23
授权日期：2018-08-03
第一作者：王宇