刘正坤
刘正坤
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专利
位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法
发布时间：2021-07-23点击次数：
所属单位：
中国科学技术大学
发明设计人：
付绍军,刘正坤,徐向东,洪义麟
专利说明：
发明
是否职务专利：
否
公开日期：
2009-01-07
授权日期：
2010-11-24
第一作者：
刘颖