刘正坤
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专利
一种白光干涉位移传感器中楔形膜及其制作方法
发布时间：2021-07-23点击次数：
所属单位：
中国科学技术大学
发明设计人：
黄涛,邱克强,徐向东,付绍军
专利说明：
发明
申请号：
201210022543.4
发明人数：
5
是否职务专利：
否
公开日期：
2012-07-04
授权日期：
2014-09-24
第一作者：
刘正坤