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刘正坤
刘正坤
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专利
抑制位相掩模垂直光栅矢量方向次生干扰的近场全息动态曝光方法
发布时间:2021-07-24点击次数:
所属单位: 中国科学技术大学
发明设计人: 林达奎,陈火耀,刘正坤,邱克强,徐向东,洪义麟,付绍军
专利说明: 发明
是否职务专利:
公开日期: 2017-10-20
第一作者: 刘颖