连通式多反应室高温有机金属化学气相淀积装置
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：李晓光,王秋来,刘世闯
专利说明：发明
申请号：200410065874.1
发明人数：4
是否职务专利：否
公开日期：2005-08-24
第一作者：傅竹西
电子邮箱：
办公地点：Physics Building, Room 308A
联系方式：63603408
学位：博士
连通式多反应室高温有机金属化学气相淀积装置
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：李晓光,王秋来,刘世闯
专利说明：发明
申请号：200410065874.1
发明人数：4
是否职务专利：否
公开日期：2005-08-24
第一作者：傅竹西