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连通式多反应室高温有机金属化学气相淀积装置

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所属单位：中国科学技术大学

发明设计人：李晓光,王秋来,刘世闯

专利说明：实用新型

申请号：200420055041.2

发明人数：4

是否职务专利：否

公开日期：2006-02-08

授权日期：2006-02-08

第一作者：傅竹西

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李晓光 (教授)