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一种去除纳米氧化铝模板背面铝层的装置

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所属单位：中国科学技术大学

发明设计人：姚连增,蔡维理,李晓光

专利说明：实用新型

申请号：200420080270.X

发明人数：4

是否职务专利：否

公开日期：2005-10-26

授权日期：2005-10-26

第一作者：贾冲

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李晓光 (教授)