1992年10月在中国科学技术大学获得博士学位。1992年7月-1995年6月,中国科学技术大学国家同步辐射实验室助理研究员，1995年6月- 2000年1月，国家同步辐射实验室副研究员，2000 年1月晋升国家同步辐射实验室研究员。任中国物理学会同步辐射专业委员会常务委员。近年来，完成了LIGA和X射线成像光束线实验站等大型实验装置的建设，承担着国家自然基金重点和面上项目、“863”项目和教育部“985”工程二期子项目等研究课题。已在J. MEMS、J. Micromech. Microeng、Microsystem Technologies等国内外杂志共发表学术论文70余篇，获得国家发明专利3项1992年10月在中国科学技术大学获得博士学位。1992年7月-1995年6月,中国科学技术大学国家同步辐射实验室助理研究员，1995年6月- 2000年1月，国家同步辐射实验室副研究员，2000 年1月晋升国家同步辐射实验室研究员。任中国物理学会同步辐射专业委员会常务委员。近年来，完成了LIGA和X射线成像光束线实验站等大型实验装置的建设，承担着国家自然基金重点和面上项目、“863”项目和教育部“985”工程二期子项目等研究课题。已在J. MEMS、J. Micromech. Microeng、Microsystem Technologies等国内外杂志共发表学术论文70余篇，获得国家发明专利3项