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  • 学位:博士
专利
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一种控制微纳结构倒伏的方法
  • 所属单位:中国科学技术大学
  • 发明设计人:熊瑛,田扬超,侯双月
  • 专利说明:发明
  • 申请号:201410546257.7
  • 发明人数:4
  • 是否职务专利:
  • 公开日期:2015-03-04
  • 授权日期:2016-06-22
  • 第一作者:刘刚