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专利
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一种大高宽比微结构的光学检测方法
  • 所属单位:中国科学技术大学
  • 发明设计人:魏文彬,熊瑛,侯双月,田扬超
  • 专利说明:发明申请
  • 申请号:201911178380.7
  • 发明人数:5
  • 是否职务专利:
  • 第一作者:刘刚