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专利
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一种活动微电子机械固体自润滑面的制作方法
  • 所属单位:中国科学技术大学
  • 发明设计人:刘刚,洪义麟,付绍军,胡一贯
  • 专利说明:发明
  • 申请号:98123247.7
  • 发明人数:5
  • 是否职务专利:
  • 公开日期:2000-06-14
  • 授权日期:2004-02-18
  • 第一作者:田扬超