王海龙
集成电路中纳多晶铜互连线表面粗化的尺度研究
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项目状态:进行
项目性质:国基金联合资助项目(面上)
项目来源:国家自然科学基金项目
结项日期:2025-12-31
开始日期:2022-01-01
资助额度(万元):56.0
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项目性质:国基金联合资助项目(面上)
项目来源:国家自然科学基金项目
结项日期:2025-12-31
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资助额度(万元):56.0