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学位:博士
Scanning near-field lithography with high precision flexure orientation stage control
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影响因子:1.81
DOI码:10.1007/s00339-017-1204-y
发表刊物:APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING
通讯作者:王亮
论文编号:000409351400014
卷号:123
期号:9
ISSN号:0947-8396
是否译文:否
发表时间:2017-08-31
收录刊物:SCI