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学位：博士
Numerical and experimental study of nanolithography using nanoscale C-shaped aperture
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影响因子：1.81
DOI码：10.1007/s00339-015-9080-9
发表刊物：APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING
通讯作者：王亮
论文编号：000354189200042
卷号：119
期号：3
页面范围：1133-1141
ISSN号：0947-8396
是否译文：否
发表时间：2015-05-31
收录刊物：SCI