王沛  (教授)

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学位：博士

   
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一种基于表面等离子体干涉的可重构亚波长光栅光刻机

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所属单位：中国科学技术大学

发明设计人：张斗国,陈漪恺,胡继刚,朱良富,王沛,明海

专利说明：发明

申请号：201210431198.X

发明人数：7

是否职务专利：否

公开日期：2013-03-20

第一作者：王向贤

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