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一种基于表面等离子体干涉的可重构亚波长光栅光刻机

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所属单位：中国科学技术大学

发明设计人：张斗国,陈漪恺,胡继刚,朱良富,王沛,明海

专利说明：实用新型

申请号：201220571354.8

发明人数：7

是否职务专利：否

公开日期：2013-05-22

授权日期：2013-05-22

第一作者：王向贤

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王沛 (教授)