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学位：博士
数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻方法
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：鲁拥华,王沛
专利说明：发明
是否职务专利：否
公开日期：2016-03-30
授权日期：2017-09-29
第一作者：崔辰静
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