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数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻方法

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所属单位：中国科学技术大学

发明设计人：鲁拥华,王沛

专利说明：发明

申请号：201511017157.6

发明人数：3

是否职务专利：否

公开日期：2016-03-30

授权日期：2017-09-29

第一作者：崔辰静

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王沛 (教授)