数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻系统
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：鲁拥华,王沛
专利说明：实用新型
申请号：201521126877.1
发明人数：3
是否职务专利：否
公开日期：2016-09-28
授权日期：2016-09-28
第一作者：崔辰静
电子邮箱：
学位：博士
数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻系统
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：鲁拥华,王沛
专利说明：实用新型
申请号：201521126877.1
发明人数：3
是否职务专利：否
公开日期：2016-09-28
授权日期：2016-09-28
第一作者：崔辰静