CVD生长多层异质结的装置
发布时间:2021-07-24 点击次数:次
所属单位:中国科学技术大学
发明设计人:杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明:实用新型
申请号:201720679431.4
发明人数:6
是否职务专利:否
公开日期:2018-01-30
授权日期:2018-01-30
第一作者:郭国平
所属单位:中国科学技术大学
发明设计人:杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明:实用新型
申请号:201720679431.4
发明人数:6
是否职务专利:否
公开日期:2018-01-30
授权日期:2018-01-30
第一作者:郭国平