化学气相沉积设备
发布时间：2021-07-24 点击次数：次
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明：实用新型
申请号：201721380853.8
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2018-05-29
授权日期：2018-05-29
第一作者：郭国平
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明：实用新型
申请号：201721380853.8
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2018-05-29
授权日期：2018-05-29
第一作者：郭国平