张艾霖
博士生导师
硕士生导师
教师姓名：张艾霖
电子邮箱：
学历：博士研究生毕业
学位：博士
职称：特任研究员
所属院系：物理学院
学科：物理学
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研究方向
半导体高端设备与薄膜材料团队
面向半导体制造关键设备与产业技术升级，聚焦高端粒子束与相关真空设备研发及半导体薄膜材料生长。团队自主开发专业模拟程序，涵盖先进原子束辅助系统、离子束刻蚀系统、磁控溅射镀膜机等方向，并自主研制离子束溅射镀膜装置，已应用于国产光刻机关键部件生产、新型半导体材料生长等领域。与国内头部半导体企业保持深入合作，适合对半导体设备、真空技术、薄膜材料与产业应用感兴趣的学生。
