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等离子体化学气相沉积Si-B-N非晶陶瓷薄膜研究
Release time:2021-07-24
Hits:
- Affiliation of Participant(s):
- 物理学院
- Status:
- 进行
- Nature of Project:
- 校级项目
- Project Level:
- School discipline
- Scheduled completion time:
- 2019-12-31
- Date of Project Initiation:
- 2018-01-01
- Subsidy Amount:
- 44.89
- Pre One:通过自组织生长在纳米尺度上构造式样的（类）金刚石表面研究
- Next One:亚大气压均匀直流辉光等离子体放电技术的研究