Effects of temperature and humidity on atomic force microscopy dimensional measurement
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影响因子：2.117
DOI码：10.1002/jemt.22509
发表刊物：MICROSCOPY RESEARCH AND TECHNIQUE
通讯作者：陈宇航
论文编号：000356811900004
卷号：78
期号：7
页面范围：562-568
ISSN号：1059-910X
是否译文：否
发表时间：2015-06-30
收录刊物：SCI