用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托
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所属单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
教研室:二室
申请专利人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明设计人:刘吉山,沈大伟, 刘正太, 李明颖, 姚岐, 樊聪
专利说明:无
备注:无
专利类型:发明
专利状态:专利权的终止
申请号:CN201510155485.6
授权号:CN104711670B
发明人数:6
是否职务专利:是
申请日期:4209-06-01
公开日期:4309-08-01
授权日期:2017-12-29
第一作者:刘吉山