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刘正坤
刘正坤
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专利
一种变间距光栅的近场全息-离子束刻蚀制备方法
发布时间:2021-07-23点击次数:
所属单位: 中国科学技术大学
发明设计人: 李媛芳,刘正坤,陈火耀,邱克强,徐向东,洪义麟,付绍军
专利说明: 发明
是否职务专利:
公开日期: 2016-03-16
授权日期: 2017-11-24
第一作者: 刘颖