刘正坤
刘正坤
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专利
一种光栅掩模与硅片{111}晶面的对准方法
发布时间：2021-07-23点击次数：
所属单位：
中国科学技术大学
发明设计人：
刘正坤,邱克强,郑衍畅,刘颖,洪义麟
专利说明：
发明
申请号：
201510793828.1
发明人数：
6
是否职务专利：
否
公开日期：
2016-03-23
授权日期：
2018-08-03
第一作者：
王宇