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学位:
博士
专利
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专利
微管道的制作方法
所属单位:
中国科学技术大学
发明设计人:
田扬超,洪义麟,张新夷,阚娅
专利说明:
发明
申请号:
01138148.5
发明人数:
5
是否职务专利:
否
公开日期:
2003-07-16
授权日期:
2005-02-02
第一作者:
刘刚
上一条:
一种采用电铸制作低摩擦系数微电子机械模具的方法