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专利
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一种采用电铸制作低摩擦系数微电子机械模具的方法
  • 所属单位:中国科学技术大学
  • 发明设计人:刘刚,张鹏,田学红
  • 专利说明:发明
  • 申请号:02137904.1
  • 发明人数:4
  • 是否职务专利:
  • 公开日期:2004-01-07
  • 第一作者:田扬超