中国科学技术大学温晓镭--中文主页-- 3-D Nanofabrication of Silicon and Nanostructure Fine-Tuning via Helium Ion Implantation.

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3-D Nanofabrication of Silicon and Nanostructure Fine-Tuning via Helium Ion Implantation.

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发表刊物：Advanced Materials Interface
论文类型：期刊论文
卷号：9
期号：10
页面范围：2101643
是否译文：否
发表时间：2022-01-10

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