中国科学技术大学温晓镭--中文主页-- Optical nanolithography with lambda/15 resolution using bowtie aperture array.

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Optical nanolithography with lambda/15 resolution using bowtie aperture array.

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发表刊物：Applied Physics A-Materials Science & Processing
文献类型：J
是否译文：否
发表时间：2014-01-30

上一条： High throughput optical lithography by scanning a massive array of bowtie aperture antennas at near-field.